000 00592nam a22001817a 4500
008 180826b mp ||||| |||| 00| 0 mon d
037 _bХудалдаж авсан
040 _cМУБИС
041 _arus
082 _221
_a621.381
_bЕ91
100 _aЕфимов И.Е, Козырь И.Я, Горбунов Ю.И
245 0 _aМикроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность
250 _a2
260 _c1986
_aМосква
_bВысшая школа
300 _a463
490 _v0
942 _2ddc
_cBK
999 _c57327
_d57327